二、技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

        測試量程：

VMC3020D:300*200*200mm  重量：250kg

          VMC4030D:400*300*200mm  重量：350kg

VMC5040D:500*400*200mm  重量：500kg

玻璃臺承重：15kg

X/Y軸精度（um）：≤3+L/200（L為被測長度單位mm）

Z軸精度（um）：≤3+L/100（L為被測長度單位mm）

物鏡焦距：82mm

最小顯示值：0.1um

物鏡倍率：0.7-4.5X

顯示器綜合放大倍率（23寸）：約37-237X（可加配2X物鏡，或0.5X目鏡）

控制系統(tǒng)：CNC閉環(huán)控制系統(tǒng)

光源系統(tǒng)：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)

操作系統(tǒng)：WIN7/WIN10

主機(jī)材質(zhì)：采用00級天然大理石（一體機(jī)）

電腦：專用電腦

軟件：INSPEC 2D

光柵尺：金屬光柵尺1.0um

導(dǎo)軌：高精度交叉導(dǎo)軌

絲桿：國產(chǎn)高精度絲桿（臺灣）

電機(jī)：國產(chǎn)伺服電機(jī)

CCD相機(jī)：80W像素模擬相機(jī)

表面光：八區(qū)程控

激光筆：點紅光（測量時找樣品位置用）

選配件：Z軸探針、Z軸激光、自動變倍鏡頭、地圖導(dǎo)航、同軸光。